部分產(chǎn)線停擺！傳臺(tái)積電5nm晶圓廠出現(xiàn)氣體污染事故

聯(lián)合報(bào)7月30日?qǐng)?bào)道，臺(tái)積電先進(jìn)制程的南科18a廠，因部分來(lái)自廠商供應(yīng)氧體疑似受到污染，7月29日晚間部分產(chǎn)線停擺。臺(tái)灣媒體，此次事故造成重大影響。

臺(tái)積電表示，已實(shí)時(shí)調(diào)度其他氣體供應(yīng)，此現(xiàn)象對(duì)產(chǎn)線并無(wú)造成顯著影響，芯片仍正常生產(chǎn)。不過(guò)30日上午供應(yīng)商全數(shù)被擋在廠區(qū)外，且消息傳出30日12時(shí)臺(tái)積電18廠舉行生產(chǎn)會(huì)議。

據(jù)經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)消息，7月30日上午，廠區(qū)人員出入頻繁但都三緘其口、不愿受訪發(fā)表意見(jiàn)；臺(tái)機(jī)18廠各貨運(yùn)以及人車陸續(xù)進(jìn)出、上午廠區(qū)后方有大量水汽排出。

臺(tái)媒稱，行業(yè)人士擔(dān)心，由于超標(biāo)的氣體一直輸送到產(chǎn)線，恐怕會(huì)有報(bào)廢品問(wèn)題，且由于臺(tái)積電的晶圓18廠所負(fù)責(zé)的5nm晶圓，是蘋果iPhone的重要零組件，而隨著新款iPhone上市在即，是否會(huì)對(duì)iPhone生產(chǎn)及供貨造成問(wèn)題，都還有待觀察。

而臺(tái)積電2019年在南科晶圓14B廠也曾因?yàn)楣庾柙显斐删A良率異常，報(bào)廢上萬(wàn)片芯片并重做，還因此使當(dāng)年第一季營(yíng)收減少約5.5億美元，調(diào)降第一季財(cái)測(cè)，這次氣體供應(yīng)出問(wèn)題，是否會(huì)造成晶圓報(bào)廢，后續(xù)影響還有待持續(xù)觀察。