廢氣污染物種類繁多，特性不一樣，面對不同類型的廢氣，需選擇合適的處理方式。比較常見的處理方法有：冷凝法、吸收法、燃燒法、催化法、吸附法等。

冷凝回收法，是把廢氣直接導(dǎo)入冷凝器或先經(jīng)吸附吸收后，解析的濃縮廢氣導(dǎo)入冷凝器，冷凝液經(jīng)分離可回收有價(jià)值的有機(jī)物的一種方法。冷凝法主要用于高沸點(diǎn)和高濃度的VOC污染氣體的回收，適用的濃度范圍>5%（體積），其流程簡單、回收率高。不過該法需要有附設(shè)的冷凍設(shè)備，投資大、能耗高、運(yùn)行費(fèi)用大，同時(shí)冷凝后尾氣仍然含有一定濃度的有機(jī)物，二次污染嚴(yán)重，因此對低濃度尾氣治理很少使用此法。

吸收法可分為化學(xué)吸收及物理吸收，其中較為常用的是物理吸收法。物理吸收是廢氣中一種或幾種組分溶解于選定的液體吸收劑中，這種吸收劑應(yīng)具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發(fā)性，同時(shí)還應(yīng)具有較小的揮發(fā)性，吸收液飽和后經(jīng)加熱解吸再冷卻重新使用。適合于溫度低、中高濃度的廢氣，能夠有選擇性地吸收硫化氫等廢氣，工藝流程簡單，且不需外加蒸汽和外加其他熱源。但是需配備加熱解析冷凝等回收裝置，裝機(jī)體積大、投資較大，同時(shí)還存在二次污染，凈化效果不理想。

催化燃燒，是在催化劑的作用下，將廢氣中的有害可燃組分完全氧化為二氧化碳和水的過程。其優(yōu)點(diǎn)是凈化率高、工作溫度低、能量消耗少，操作簡便和安全性好等。但是有的氣體燃燒條件苛刻，需高溫、高空和高水蒸氣分壓，因此對催化劑的要求較高，必須具備較高的活性、高熱穩(wěn)定性和較高的水熱穩(wěn)定性，以及一定的抗中毒能力。

活性炭吸附，是將有機(jī)廢氣由排氣風(fēng)機(jī)送入吸附床，有機(jī)廢氣在吸附床被活性炭吸附劑吸附而使氣體得到凈化。此法優(yōu)點(diǎn)是吸附率高，運(yùn)行能耗低，費(fèi)用成本低，安全可靠，吸附劑可以回收，節(jié)能環(huán)保。它的缺點(diǎn)是不耐高溫，在濕潤的條件下不能保持很好的吸附能力；易燃，較快達(dá)到飽和吸附而失去效用；產(chǎn)生二次固體或液體污染物。

UV紫外法，是利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，改變廢氣的分子結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子廢氣化合物分子鏈在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物。此法優(yōu)點(diǎn)是占地面積小，運(yùn)行成本較低，設(shè)備投資較低。而缺點(diǎn)是去除效率低，可處理的氣體種類較少。